洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排出、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分---。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,洁净检测,因此它们是主要关注的检测项目。
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测试压差、温度、相对湿度、风速(换气次数)、噪音、光照度、尘粒数(0.5μm~5μm)、沉降菌或浮游菌等。
根据洁净室(区)的面积、洁净度的级别确定采样点数目、位置和采样量,采用excle进行数据处理。
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洁净室各项目检测方法总结
过滤器检漏
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,洁净检测注意事项,是要确认:
1. 滤网的材料无破损,洁净检测费用,
2. 安装恰当。
滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是
ffu 系统,---上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。
滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,洁净检测价格,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。
测试方式有:
1. 气胶光度计测试法, 2. 微粒计数器测试法, 3. 外气测试法。后两种现在使用非常少。
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