洁净室检测方法
一、测试目的
确认在无尘室释放颗粒后,测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器
颗粒测试仪(品牌:美国 met one空气粒子计数器),洁净检测价格,型号:hhpc2+、hhpc3+、hhpc6+;3413、3423、3411、3445、颗粒释放器。
三、测试位置
任意抽取测量点,也可与相关人员共同确认测试点。
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洁净工作台检测检测项目
1、风速
a)在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积,各面积中心点即为风速测点。但各测点间距不应大于25cm;
b)将各测点风速值计算出截面风速算术平均值及风速均匀率。
2、悬浮粒子数
a)吸风处的浓度(对于***0.5um的粒子)不得小于35000粒/l;不能满足宜在吸风处发多分散气溶胶;
b)在距主过滤器或整流格栅出口250mm的平行断面的中心处连续测试5次,求其平均值,采样量不得小于1l。
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洁净室各项目检测方法总结
过滤器检漏
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,洁净检测,是要确认:
1. 滤网的材料无破损,
2. 安装恰当。
滤网出厂前当然要经过泄漏测试,洁净检测,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,洁净检测费用,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是
ffu 系统,---上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。
滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。
测试方式有:
1. 气胶光度计测试法, 2. 微粒计数器测试法, 3. 外气测试法。后两种现在使用非常少。
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