洁净室检测方法
一、测试目的
确认在无尘室释放颗粒后,测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器
颗粒测试仪(品牌:美国 met one空气粒子计数器),型号:hhpc2+、hhpc3+、hhpc6+;3413、3423、3411、3445、颗粒释放器。
三、测试位置
任意抽取测量点,洁净检测流程,也可与相关人员共同确认测试点。
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温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内,温湿度对微粒控制没有甚么影响,洁净检测费用,因此温湿度测试属于第三级测试(
level 3 )。但是因无尘室多半同时也是环控室,洁净检测价格,所以温湿度常常就一并测量了。温湿度测量又分为一般测量和---测量( general
洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,洁净检测,以排出、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分---。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
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